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전기소자
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소재부품장비 기술분야
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반도체 기판, 소자 및 이들 제조 관련 기기
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한국재료연구원
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히터 겸용 정전척
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변응선
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화학
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소재부품장비 기술분야
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반도체 기판, 소자 및 이들 제조 관련 기기
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한국재료연구원
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결정질 지르콘이 코팅된 규소계 세라믹, 및 이의 제조방법
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박동수
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측정/검사/시험
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소재부품장비 기술분야
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반도체 기판, 소자 및 이들 제조 관련 기기
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한국재료연구원
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탄소막이 코팅된 반도체 검사 장치용 프로브 핀 및 그 제조방법
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김종국
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화학
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소재부품장비 기술분야
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반도체 기판, 소자 및 이들 제조 관련 기기
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한국재료연구원
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상온진공과립분사 공정을 위한 취성재료 과립 및 이를 이용한 코팅층의 형성방법
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박동수
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도금
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소재부품장비 기술분야
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반도체 기판, 소자 및 이들 제조 관련 기기
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한국재료연구원
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대기압 플라즈마 ＣＶＤ 장치용 반응기와 이를 이용한 박막형성방법
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권정대
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성형(연삭,주조,가공 등)
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소재부품장비 기술분야
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분말 형태 금속 연료
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한국재료연구원
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불소계 탄화수소 고분자층이 코팅된 알루미늄 분말 및 이의 제조방법
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김경태
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도금
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소재부품장비 기술분야
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세라믹 분말,복합 재료
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한국재료연구원
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KNN계 단결정 세라믹 제조 방법 및 이에 의해 제조된 KNN계 단결정 세라믹
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안철우
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화학
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소재부품장비 기술분야
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세라믹 분말,복합 재료
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한국재료연구원
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고열전도성 마그네시아 조성물 및 마그네시아 세라믹스
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안철우
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| 388 |
성형(연삭,주조,가공 등)
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소재부품장비 기술분야
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세라믹 분말,복합 재료
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한국재료연구원
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탄화규소 타일/알루미늄 하이브리드 복합재 및 이의 제조방법
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류호진
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성형(연삭,주조,가공 등)
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소재부품장비 기술분야
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합금,분말 및 이들의 생산,성형 관련 장비
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한국재료연구원
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가스분무법을 이용한 금속복합분말의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 금속복합분말
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김용진
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